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滑閥真空泵的工藝原理
更新時(shí)間:2024-06-14  |  點(diǎn)擊率:680
  真空泵是一種通過(guò)排除容器內的氣體而將其壓力降至較低水平的設備,其中滑閥真空泵是其中一種常見(jiàn)的真空泵類(lèi)型。
 
  在滑閥真空泵工作時(shí),首先將機內空間與外界隔離,打開(kāi)排氣閥的同時(shí)關(guān)閉吸氣閥,此時(shí)空室通過(guò)排氣閥將氣體抽出,空室內部壓力隨著(zhù)氣體的排出而降低,同時(shí)前限壓力和相應的有效抽速提高。
 
  隨后,關(guān)閉排氣閥,打開(kāi)吸氣閥。此時(shí),由于外界氣體的壓力高于空室內部的壓力,外界氣體自然進(jìn)入空室,壓力和抽速均隨之降低。為了保證這一周期的正常進(jìn)行,必須保證排氣閥的關(guān)閉時(shí)間短于吸氣閥的開(kāi)啟時(shí)間,并且不能有殘余氣體留在空室內,否則將會(huì )影響下個(gè)周期的工作。
 
  滑閥真空泵在不同的使用場(chǎng)景下,其工作原理會(huì )有所不同。例如在被用于薄膜技術(shù)或半導體制造過(guò)程中,滑閥真空泵需要進(jìn)行調整以提高其性能和穩定性。
 
  此外,滑閥真空泵通常需要與其他真空設備一起使用,例如油封泵或分子泵,以進(jìn)一步提高其工作效率。不同設備之間的組合使用將有所不同,取決于特定的工作環(huán)境和要求。

 

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